探針可以將質(zhì)譜測定技術(shù)與離子發(fā)射顯微鏡技術(shù)相結(jié)合作為現(xiàn)代儀器分析方法。能提供一般質(zhì)譜分析所不能提供的試樣微區(qū)質(zhì)譜。由于它能對(duì)固體物質(zhì)作微區(qū)、微量及深度成分分析，在某些條件下檢測靈敏度可達(dá)ppb數(shù)量級(jí)，因此被廣泛用于半導(dǎo)體、冶金、地質(zhì)和生物研究等部門。其原理是利用聚焦的高能一次離子束轟擊試樣表面，濺射出表征試樣成分的二次離子束，通過磁場完成質(zhì)荷比分離，根據(jù)二次離子的質(zhì)荷比和強(qiáng)度來進(jìn)行定性和定量分析。
探針的主要應(yīng)用領(lǐng)域有以下幾大常見的：
1.半導(dǎo)體材料
①表面、界面和體材料的雜質(zhì)分析；
②離子注入濃度及摻雜的測定；
③在實(shí)效分析方面的應(yīng)用。
2.金屬材料
①測定各種鋼材和合金表面的鈍化膜、滲氮層、氧化墨中的成分；
②測定各種金屬之間的相互擴(kuò)散、滲透，了解其性質(zhì)；
③測定鋼和金屬的析出相、夾雜物、碳化物的成分、稀土元素以及硼、磷等在鋼材晶界上的偏析；
④測定注入到金屬表層中的摻雜元素的深度分布；
⑤測定金屬表面的沾污和沾物的成分。
3.地質(zhì)礦物
①測定隕石中微量元素含量及其分布，以及同位素的豐度比；
②測定月球上的稀土元素、堿土元素并與地球上的元素進(jìn)行對(duì)比；
③測定長石中的氧、氟化鋰中的氟，云母中的鉀的擴(kuò)散；
④測定礦物表面的氧化層的成分，找出佳的選礦工藝。
4.生物樣品
①測定牙齒和軟骨組織中的微量元素的含量和鋰的同位素豐度比；
②研究牙齒中的氟含量與齲齒的關(guān)系；
③分析葉子中鈣、鉀、硼、鈉、鎂、錳等常見元素的含量，以便研究元素含量的影響。
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